XPS-7II便携式半导体材料气体检测仪是日本新宇宙 (New Cosmos Electric) 公司生产的专业便携式半导体材料气体检测仪，可通过更换传感器组件检测多种半导体工艺中使用的有毒气体。XPS-7II 是一款专为半导体和化工行业设计的高性能便携式气体检测利器，通过灵活的模块化传感器系统，为工业安全提供 “一器多用“ 的专业保障。其小巧轻便的设计和可靠的检测性能，使其成为半导体工厂安全巡检

XPS-7II便携式半导体材料气体检测仪是日本新宇宙 (New Cosmos Electric) 公司生产的专业便携式半导体材料气体检测仪，可通过更换传感器组件检测多种半导体工艺中使用的有毒气体。XPS-7II 是一款专为半导体和化工行业设计的高性能便携式气体检测利器，通过灵活的模块化传感器系统，为工业安全提供 "一器多用" 的专业保障。其小巧轻便的设计和可靠的检测性能，使其成为半导体工厂安全巡检、危险气体泄漏应急响应的理想选择。

产品定位与核心功能

专业领域：专为半导体制造、石油化工等行业的有毒气体检测设计

检测原理：定电位电解式（部分气体需搭配热解器）

采样方式：内置泵吸式（自动吸引式），可远程采样

独特优势：小的便携式 NF3 (三氟化氮) 检测器

XPS-7II便携式半导体材料气体检测仪技术参数与性能

参数规格

尺寸约 215 (W)×75 (H)×100 (D) mm

重量约 1.3kg（含电池）

电源充电式锂电池，连续工作约 8 小时

显示LCD 屏幕，可显示气体浓度、报警状态、电池电量等

报警方式95dB 蜂鸣器 + 红色 LED 闪烁 + 振动

防爆等级Ex ia IIC T3 Ga（本质安全型，适用于危险区域）

防护等级IP65（防尘防水）

模块化检测系统（核心亮点）

XPS-7II 采用独特的 "盒式传感器" 设计，只需更换专用传感器单元，即可检测不同的目标气体：

常见检测气体：

氯气 (Cl₂)：0-30ppm

氯化氢 (HCl)：0-50ppm

氨气 (NH₃)：0-100ppm

硅烷 (SiH₄)：0-10ppm

三氟化氮 (NF₃)：0-10ppm

砷化氢 (AsH₃)、磷化氢 (PH₃) 等半导体专用气体

应用场景

半导体制造业

晶圆厂气体管道泄漏检测

反应腔室、真空系统气体纯度监测

特气柜 (VMB) 周边安全巡检

化工与制药行业

氯碱厂氯气泄漏检测

制药工艺中特殊气体监控

实验室有毒气体环境监测

其他高危工业环境

太阳能电池制造（硅烷等易燃易爆气体）

液晶面板生产（NF3 等特种气体）

科研机构特殊气体实验安全保障

使用方法简述

根据检测目标选择并安装对应传感器单元

开机预热（约 30 秒），设备自动自检

将采样管伸向检测区域（可连接延长管至数米）

观察 LCD 显示的实时浓度值

当气体浓度超标时，设备发出声光振动报警

使用后建议在洁净环境中运行 5 分钟再关机，延长传感器寿命

总结