新宇宙 XP-703DIII半导体多参数气体检测仪是日本 COSMOS 公司 (新宇宙电机株式会社) 生产的便携式半导体材料气体检测仪，专为检测半导体行业中使用的微量有毒气体泄漏设计，可同时检测多种特种气体，是半导体工厂安全管理的重要工具。新宇宙 XP-703DIII 是一款专为半导体行业设计的便携式多气体检测仪，具备超便携、高灵敏度、多功能保护等特点，能快速检测 5 种关键半导体材料气体的微量泄

新宇宙 XP-703DIII半导体多参数气体检测仪是日本 COSMOS 公司 (新宇宙电机株式会社) 生产的便携式半导体材料气体检测仪，专为检测半导体行业中使用的微量有毒气体泄漏设计，可同时检测多种特种气体，是半导体工厂安全管理的重要工具。新宇宙 XP-703DIII 是一款专为半导体行业设计的便携式多气体检测仪，具备超便携、高灵敏度、多功能保护等特点，能快速检测 5 种关键半导体材料气体的微量泄漏，是保障半导体工厂安全生产的重要工具。

产品定位与核心功能

检测对象：半导体工艺中使用的5 种关键气体：

砷烷 (AsH₃)：0.2ppm 起检

磷化氢 (PH₃)：0.3ppm 起检

 (B₂H₆)：0.1ppm 起检

硅烷 (SiH₄)：0.5ppm 起检

氢气 (H₂)：1.0ppm 起检

检测原理：热线型半导体式(利用气体接触传感器时引起的电阻变化检测)

采样方式：自动吸引式(内置微型泵，主动抽取空气样本)

响应速度：10 秒内即可检测到目标气体 (浓度达到检测)

技术参数与性能特点

参数数值说明

尺寸W38×H130×D32mm超便携设计，一手掌握

重量约 190g (含电池)轻量化，长时间操作不疲劳

电源2 节 5 号碱性电池更换简便，随处可得

续航时间约 12 小时 (常温)满足全天工作需求

检测精度可达 PPB 级别能发现极微量泄漏 (10⁻⁷Pa・m³/s)

防护等级IP22 (配皮套时)防尘防潮，适应工业环境

显示方式LCD 数字显示 + 双色指示灯清晰显示浓度值和报警状态

报警方式声音 (频率随浓度增加变快)+ 红色指示灯便于定位泄漏点

独特功能亮点

泵自动保护功能：

检测到异常 (如水进入或探头堵塞) 时自动停止泵运转

防止设备损坏，延长使用寿命

恢复按钮可一键恢复正常检测

自动气体排气模式：

关机时自动排出机内残留气体

保护传感器寿命，避免交叉污染

高灵敏度设计：

对等高危气体检测下限低至 0.1ppm

可在危险浓度形成前预警，保障人员安全

应用场景

半导体及相关行业安全监测：

半导体制造：扩散、蚀刻、CVD 等工艺设备泄漏检测

光伏产业：硅材料生产、太阳能电池制造

科研机构：实验室特种气体管理

石油化工：涉及特种气体的工艺环节安全监控

电子制造业：各类使用氢气等特种气体的生产线

使用方法 (简版)

装入 2 节 5 号电池

开机自动预热校准

将探头靠近待检测区域

设备自动抽取空气检测

浓度超标时：

红色报警灯闪烁

蜂鸣器发出频率递增的警报声 (浓度越高，频率越快)

LCD 显示具体浓度值

使用后长按电源键 3 秒关机，设备自动排气

新宇宙 XP-703DIII半导体多参数气体检测仪与 SDM-72/73 的对比

特性XP-703DIII (气体检测仪)SDM-72/73 (铁粉浓度计)

检测对象半导体特种气体 (气态)润滑脂 / 油中铁粉 (固态颗粒)

应用领域半导体、光伏等气体工艺机械设备润滑系统、旋转设备

检测原理热线型半导体式磁性平衡式电磁感应法

用途气体泄漏预警，保障生产安全设备磨损诊断，预测性维护

显示单位ppm (百万分之一)% 或 ppm (根据型号)