日本加野3950-00尘埃粒子计数器是一款专为半导体制造和高洁净度环境设计的超小型激光粒子计数器，能同时精确测量 0.1μm 和 0.3μm 两种粒径的悬浮粒子浓度，具有超紧凑体积和轻量化设计，可作为传感器直接嵌入生产设备，实时监测半导体工艺环境中的微污染，是确保芯片良率和产品质量的关键检测工具。

Kanomax 超小型粒子计数器 3950-00：半导体行业的 "纳米级环境卫士"

产品定位与核心功能

日本加野3950-00尘埃粒子计数器是一款专为半导体制造和高洁净度环境设计的超小型激光粒子计数器，能同时精确测量 0.1μm 和 0.3μm 两种粒径的悬浮粒子浓度，具有超紧凑体积和轻量化设计，可作为传感器直接嵌入生产设备，实时监测半导体工艺环境中的微污染，是确保芯片良率和产品质量的关键检测工具。

技术规格与性能参数

参数类别详细规格

测量粒径双通道同步测量：0.1μm 和 0.3μm

采样流量2.83L/min (0.1CFM)，精度 ±5%，符合 ISO 21501-4 标准

可测浓度10,000,000 particles/m³ (10% 重合损失时)

计数效率0.1μm 粒子：50±20%

0.2μm 及以上粒子：100±10%

显示系统4.3 英寸彩色液晶触摸屏，操作直观便捷

数据存储10,000 组测量数据，CSV 格式

通信接口USB(Host/Device)、Ethernet、RS485(MODBUS)

电源AC 100~240V 适配器 

外形尺寸W150×H163×D228mm (约 6×2.5×9 英寸)

重量仅 3.4kg (7.5 磅)，比同类产品轻 40% 以上

使用环境15~35℃，0~85% RH (无结露)

革命性设计特点

1. 小型化与轻量化

体积比传统粒子计数器缩小 60%，重量减轻 50%

行业可直接嵌入半导体制造设备内部，实现工艺点实时监控

紧凑设计不占用洁净室宝贵空间，便于移动测量

2. 高灵敏度与精准测量

0.1μm 级检测能力，专为半导体工艺 (14nm/7nm/5nm) 设计

光散射测量原理，粒径分辨率≤15%，重复性误差≤5%

伪计数率 < 1 个 / 35 分钟，确保数据可靠性

3. 多功能智能操作

4.3 英寸触控屏，支持中英文显示

多种测量模式：单次、重复 (1~999 次)、连续、计算

99 个地点标记功能，便于洁净室网格化监测

数据可直接导出至 PC、打印机或 USB 存储设备

工作原理

采用激光散射技术：

内置高精度泵以 2.83L/min 恒定流量抽取空气样本

空气通过采样口进入测量腔，激光束照射通过的粒子

粒子产生散射光，光电传感器捕捉并转换为电脉冲

信号处理系统分析脉冲参数，区分 0.1μm 和 0.3μm 粒子

微处理器计算单位体积内各粒径粒子浓度并显示

日本加野3950-00超小型粒子计数器核心应用场景

1. 半导体芯片制造（主要应用领域）

光刻工艺：监测曝光环境中的超微粒子，防止晶圆缺陷

刻蚀 / 沉积：设备内部粒子监控，确保薄膜均匀性

洁净室认证：ISO Class 1~6 级环境的合规性测试

设备集成：直接嵌入半导体生产装备，实现 "原位" 实时监测

2. 其他高精密制造

平板显示：OLED/QLED 面板生产环境监控

光学仪器：镜头镀膜、精密光学元件制造

医疗器械：植入物和精密器械无菌生产环境

3. 科研与质量控制

高校 / 研究所超净实验室监测

新材料研发环境评估

电子元器件生产过程控制

日本加野3950-00尘埃粒子计数器与其他型号对比（简版）

特性3950-003887Lite/Pro3905/3910 系列

测量粒径0.1μm、0.3μm (2 通道)0.3-5μm (5 通道)0.5-10μm (6 通道)

体积重量最小最轻 (3.4kg)中等 (约 500g)较大 (约 8kg)

主要优势超小型化可嵌入设备多功能便携测量多粒径全面分析

适用场景半导体设备集成、超净环境洁净室常规监测、制药一般工业、大型洁净室